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真空泵机组，是以罗茨真空泵为主泵，螺杆真空泵为前级泵的抽气系统，此机组过流部分没有任何液体作工作液，压力不受水温影响，对被抽工艺气体不产生二次污染，便于排出气体的回收。
由于螺杆真空机组具有大抽气量、高真空度、环保节能的优点，是目前国际上光为应用的真空设备。
主要技术参数:
|
规格型号 技术参数 |
JZSP70-2 |
JZSP150-2 |
JZSP300-2 |
JZSP600-2 |
JZSP1200-4.2 |
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抽气速率（L/S） |
70 |
150 |
300 |
600 |
1200 |
|
压力(Pa) |
﹤0.5 |
﹤0.5 |
﹤0.5 |
﹤0.5 |
﹤0.1 |
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前级泵 |
SP-30 |
SP-70 |
SP-180 |
SP-180/300 |
ZJY300/SP180 |
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主泵 |
ZJ70 |
ZJY150 |
ZJY300 |
ZJY600 |
ZJY1200 |
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电机功率（KW） |
5.1 |
9.7 |
22.5 |
24/35.5 |
33.5/45 |
|
进口通径(mm) |
80 |
100 |
150 |
200 |
250 |
|
出口通径(mm) |
40 |
50 |
65 |
65/85 |
65 |
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